CNS 13805-1997《光电半导体晶圆之光激光谱量测法》
1.1 本标准适用于光电半导体芯片之光激光谱(Photoluminescence)的测量。1.2 光激光谱测量的范围只在于激发光源照射的区域及离表面极浅的深度。此深度受限于光源的穿透力及光激载子的扩散距离。
标准信息:
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1.1 本标准适用于光电半导体芯片之光激光谱(Photoluminescence)的测量。1.2 光激光谱测量的范围只在于激发光源照射的区域及离表面极浅的深度。此深度受限于光源的穿透力及光激载子的扩散距离。
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