云南省地方标准;------本标准规定了多晶硅用三氯氢硅的要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和贮存等内容。本标准适用于改良西门子法生产的多晶硅用三氯氢硅。
标准信息:
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- 中文名称:多晶硅用三氯氢硅
- 英文名称:无
- 国际标准分类:71.060.99
- 中国标准分类:G10
- 标准前缀:DB53/T
- 标准状态:现行
- 发布日期:无
- 废止日期:无
- 实施日期:2013-10-01
- 页数: 页