DIN 32564-2-2004《微系统加工设备 概念 第2部分：基本工艺和加工》

This document defines terms, which relate to the basic technologies used for the production of micro-systems. Its purpose is to ease the communication about technical issues by harmonization of the vocabulary.#,,#

标准信息：

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  2. 中文名称：微系统加工设备 概念 第2部分：基本工艺和加工
  3. 英文名称：Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 2: Basic technologies and prod
  4. 国际标准分类：01.040
  5. 中国标准分类：N04
  6. 标准前缀：DIN
  7. 标准状态：现行
  8. 发布单位：DE-DIN
  9. 发布日期：2004-05-01
  10. 废止日期：无
  11. 实施日期：无
  12. 页数：5 页