DIN 32566-2007《微型系统用生产设备.X射线光刻掩膜支持环用规范》

标准信息：

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  2. 中文名称：微型系统用生产设备.X射线光刻掩膜支持环用规范
  3. 英文名称：Production equipment for microsystems - Specification for an X-Ray Lithography Mask Support Ring
  4. 国际标准分类：31.020
  5. 中国标准分类：N38
  6. 标准前缀：DIN
  7. 标准状态：现行
  8. 发布单位：DE-DIN
  9. 发布日期：2007-12-01
  10. 废止日期：无
  11. 实施日期：2007-12-01
  12. 页数：9 页