DIN 50441-3-1985《半导体工艺材料的检验; 半导体片几何尺寸的测量; 用多射线干涉法测定抛光片表面的平面偏差》

标准信息：

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  2. 中文名称：半导体工艺材料的检验; 半导体片几何尺寸的测量; 用多射线干涉法测定抛光片表面的平面偏差
  3. 英文名称：Testing of materials for semiconductor technology; measurement of the geometric dimensions of semico
  4. 国际标准分类：29.045
  5. 中国标准分类：L95
  6. 标准前缀：DIN
  7. 标准状态：现行
  8. 发布日期：无
  9. 废止日期：无
  10. 实施日期：无
  11. 页数：5 页