DL/T 2310-2021《电力系统高压功率器件用碳化硅外延片使用条件》

本文件规定了电力系统高压功率器件用碳化硅外延材料的各项技术指标。
本文件适用于高电压功率器件应用的碳化硅外延材料，适用于电力系统高压功率器件应用的，直径为100mm和150mm的碳化硅外延材料。