GB 50467-2008《微电子生产设备安装工程施工及验收规范(附条文说明)》
本规范适用于集成电路、半导体分立器件生产设备安装工程的施工及验收。本规范不包括集成电路及半导体分立器件生产 设备联动调试及试生产。
标准信息:
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- 中文名称:微电子生产设备安装工程施工及验收规范(附条文说明)
- 英文名称:Code for construction and acceptance of micro-electronics manufacturing equipment installation engin
- 标准分类:建设工程标准
- 国际标准分类:31
- 中国标准分类:P91
- 标准前缀:GB
- 标准状态:现行
- 发布单位:CN-GB
- 发布日期:2008-12-15
- 废止日期:无
- 实施日期:2009-07-01
- 页数:70 页
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