GB/T 10067.410-2014《电热装置基本技术条件 第410部分:单晶炉》
GB/T 10067的本部分规定了对TDR晶体炉的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。
本部分适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。
标准信息:
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- 中文名称:电热装置基本技术条件 第410部分:单晶炉
- 英文名称:Basic specifications for electroheat installations―Part 410: Single crystal growing furnace
- 标准分类:产品基础标准
- 国际标准分类:25.180.10
- 中国标准分类:K61
- 标准前缀:GB/T
- 标准状态:现行
- 发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员
- 发布日期:2014-12-05
- 废止日期:无
- 实施日期:2015-04-16
- 页数:14 页
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