GB/T 14620-1993《薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片》

本标准规定了薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片的结构尺寸、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片（以下简称基片）。