GB/T 15909-2009《电子工业用气体 硅烷(SiH4)》
本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。。
本标准适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。
标准信息:
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本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。。
本标准适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。
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