GB/T 17874-2010《电子工业用气体 三氯化硼》

本标准规定了三氯化硼的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼，主要用于半导
体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。
分子式：BCl3
相对分子质量：117．1691(按2007年国际相对原子质量计算)。