GB/T 19921-2005《硅抛光片表面颗粒测试方法》
本标准规定了应用扫描表面检查系统(SSIS)对硅抛光片表面颗粒进行测试、计数和报告的程序。
本标准适用于硅抛光片,也可适用于硅外延片或其他镜面抛光片(如化合物抛光片)。
本标准也可适用于观测硅抛光片表面的划痕、橘皮、凹坑、波纹等缺陷,但这些缺陷的检测、分类依赖于设备的功能,并与检测时的初始设置有关。
注:本标准涉及的方法通常选用波长(48~6 33)nm的激光光源,最常用的是488nm的氩离子激光器;目前可测量的最小值颗粒直径为0.06μm或更小些。
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