GB/T 26113-2010《微机电系统(MEMS)技术 微几何量评定总则》
本标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。
本标准适用于企业、研究机构、检测机构等从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。
标准信息:
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- 中文名称:微机电系统(MEMS)技术 微几何量评定总则
- 英文名称:Micro-electromechanical system technology—General rules for the assessment of micro-geometrical para
- 标准分类:产品基础标准
- 国际标准分类:31.200
- 中国标准分类:L55
- 标准前缀:GB/T
- 标准状态:现行
- 发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
- 发布日期:2011-01-10
- 废止日期:无
- 实施日期:2011-10-01
- 页数:12 页
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