GB/T 32814-2016《硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范》
本标准规定了采用SOI硅片进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。
本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于S0I硅片的MEMS器件的加工和质量检验。
标准信息:
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- 中文名称:硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范
- 英文名称:Silicon-based MEMS fabrication technology-Specification for criterion of the SOI wafe based MEMS pro
- 标准分类:产品质量标准
- 国际标准分类:31.200
- 中国标准分类:L55
- 标准前缀:GB/T
- 标准状态:现行
- 发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
- 发布日期:2016-08-29
- 废止日期:无
- 实施日期:2017-03-01
- 页数:15 页
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