GB/T 14139-2019《硅外延片》
本标准规定了硅外延片的牌号和分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明
书和订货单(或合同)内容。
本标准适用于在直径不大于150mm的N型和P型硅抛光片衬底上生长的硅外延片。
标准信息:
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本标准规定了硅外延片的牌号和分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明
书和订货单(或合同)内容。
本标准适用于在直径不大于150mm的N型和P型硅抛光片衬底上生长的硅外延片。
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