GB/T 14140.2-1993《硅片直径测量方法 千分尺法》
标准信息:
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- 中文名称:硅片直径测量方法 千分尺法
- 英文名称:无
- 国际标准分类:29.045.040
- 中国标准分类:H81
- 标准前缀:GB/T
- 标准状态:废止
- 发布日期:1993-02-06
- 废止日期:2010-06-01
- 实施日期:1993-10-01
- 页数:3 页