GB/T 14146-2021《硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法》
本文件规定了电容-电压法测试硅外延层载流子浓度的方法,包括汞探针电容-电压法和无接触电容-电压法。br />本文件适用于同质硅外延层载流子浓度的测试,测试范围为4X10sup>13/sup>10cmsup>-3/sup>~8×10sup>16/sup>cmsup>-3/sup>,其中硅外延层的厚度大于测试偏压下耗尽层深度的两倍。硅单晶抛光片和同质碳化硅外延片载流子浓度的测试也可以参照本文件进行,其中无接触电容-电压法不适用于同质碳化硅外延片载流子浓度的测试。
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- 中文名称:硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法
- 英文名称:Test method for carrier concentration of silicon epitaxial layers- Capacitance-voltage method
- 标准分类:产品方法标准
- 国际标准分类:77.040
- 中国标准分类:H21
- 标准前缀:GB/T
- 标准状态:现行
- 发布单位:国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
- 发布日期:2021-05-21
- 废止日期:无
- 实施日期:2021-12-01
- 页数:16 页
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