GB/T 16595-2019《晶片通用网格规范》
本标准规定了可用于定量描述圆形半导体晶片表面缺陷的网格图形。
本标准适用于标称直径100mm~200mm的硅片,也适用于其他半导体材料晶片。
标准信息:
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本标准规定了可用于定量描述圆形半导体晶片表面缺陷的网格图形。
本标准适用于标称直径100mm~200mm的硅片,也适用于其他半导体材料晶片。
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