GB/T 25915.10-2021《洁净室及相关受控环境 第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级》
本文件定义了洁净室中有关化合物或化学物质(包括分子、离子、原子、颗粒物)存在情况的表面洁净度分级系统。br />本文件适用于洁净室及相关受控环境中所有表面,如墙面、顶棚、地面、工作环境、工具、设备和装置。br />注1:本文件仅考虑徽粒子的化学性质,未考虑微粒子的物理性质.本文件不包括污染物与表面之间的相互作用。br />注2:本文件不涉及污染产生的过程。不涉及与时间有关的影响因素(沉降、沉积、老化等)以及与过程有关的活动(如转移、处理等),也不涉及为确保符合性的统计质量控制技术指南。
标准信息:
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- 中文名称:洁净室及相关受控环境 第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级
- 英文名称:Cleanrooms and associated controlled environments- Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration
- 标准分类:其他标准
- 国际标准分类:13.040.35
- 中国标准分类:C70
- 标准前缀:GB/T
- 标准状态:现行
- 发布单位:国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
- 发布日期:2021-08-20
- 废止日期:无
- 实施日期:2022-03-01
- 页数:32 页
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