GB/T 25915.1-2021《洁净室及相关受控环境 第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级》
本文件规定了按空气中悬浮粒子浓度划分洁净室、洁净区、GB/T25915.7所述的隔离装置中的空气洁净度等级。
本文件适用于粒径挡下限为0.1μm~5μm的颗粒物累积计数分布及其粒子浓度的监测。
超细粒子(<0.1μm)的浓度将在纳米尺寸粒子空气洁净度标准中规定。在指定采样点,规定使用光散射(离散式)空气悬浮粒子计数器(LSAPC)判定大粒子(>5μm)的粒子浓度,用M描述符对其量化。
本文件不适用于表征空气悬浮粒子的物理性、化学性、放射性、生物活性或其他特性。
标准信息:
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- 中文名称:洁净室及相关受控环境 第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级
- 英文名称:Cleanrooms and associated controlled environments-Part 1 :Classification of air cleanliness by particle concentration
- 标准分类:产品基础标准
- 国际标准分类:13.040.35
- 中国标准分类:C70
- 标准前缀:GB/T
- 标准状态:现行
- 发布单位:国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
- 发布日期:2021-08-20
- 废止日期:无
- 实施日期:2022-03-01
- 页数:40 页
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