GB/T 25915.12-2021《洁净室及相关受控环境 第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求》
本文件给出了监测粒径限值不超过0.1μm(100nm)的“纳米尺度”粒子浓度的技术要求。
本文件给出的监测技术要求主要用于“动态”。
注1:本文件提及的“纳米尺度粒子”是指所有在1维上(纳米片)、2维上(纳米纤维)或3维上(纳米粒子)具有纳米尺度的纳米物质。
注2:请注意,洁净室内粒子的实际特性是由粒子的来源及其物理特性所决定的。
注3:本文件未考虑健康与安全事项。
标准信息:
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- 中文名称:洁净室及相关受控环境 第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求
- 英文名称:Cleanrooms and associated controlled environments-Part 12: Specifications for monitoring of air cleanliness by nanoscale particle concentration
- 标准分类:产品基础标准
- 国际标准分类:13.040.35
- 中国标准分类:C70
- 标准前缀:GB/T
- 标准状态:未实施
- 发布单位:国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
- 发布日期:2021-10-11
- 废止日期:无
- 实施日期:2022-05-01
- 页数:16 页
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