GB/T 25915.9-2018《洁净室及相关受控环境 第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级》
GB/T 25915的本部分阐明了在洁净室及相关受控环境中,按粒子浓度来划分固体表面洁净度等级。附录A~附录D中给出了关于表面特性的信息以及推荐的检测和测量方法。
本部分适用于洁净室及相关受控环境中的所有固体表面,如墙壁、顶棚、地板、生产环境、工具、设备和产品。按粒子浓度划分的表面洁净度等级(SCP)限于粒径0.05μm~500μm的粒子。
本部分对以下事项未予考虑:
——特定工艺的洁净度及适合性要求;
——表面的清洁步骤;
——材料特性;
——涉及相互结合力或通常与时间和工艺过程有关的事项;
——分级和测试统计方法的选择和使用;
——粒子的其他特性,如静电电荷、离子电荷、微生物等状况。
标准信息:
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- 中文名称:洁净室及相关受控环境 第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级
- 英文名称:Cleanrooms and associated controlled environments—Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration
- 标准分类:完整的产品标准
- 国际标准分类:13.040.35
- 中国标准分类:C70
- 标准前缀:GB/T
- 标准状态:现行
- 发布单位:国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- 发布日期:2018-06-07
- 废止日期:无
- 实施日期:2018-10-01
- 页数:28 页
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