GB/T 37466-2019《氮化镓激光剥离设备》
本标准规定了氮化镓激光剥离设备(以下简称“激光剥离设备”)的产品分类和标记、工作条件、要求、检测方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于利用激光方法将蓝宝石衬底生长的氮化镓(GaN)基外延层进行剥离的设备,氮化铝激光剥离设备可参考本标准。
标准信息:
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本标准规定了氮化镓激光剥离设备(以下简称“激光剥离设备”)的产品分类和标记、工作条件、要求、检测方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于利用激光方法将蓝宝石衬底生长的氮化镓(GaN)基外延层进行剥离的设备,氮化铝激光剥离设备可参考本标准。
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