GB/T 38976-2020《硅材料中氧含量的测试惰性气体熔融红外法》

本标准规定了采用惰性气体熔融及红外技术测试硅材料中氧含量的方法。
本标准适用于不同导电类型、不同电阻率范围的硅单晶、多晶硅中氧含量的测试，测试范围为2.5X10¹⁵cm^-3(0.05ppma)~2.5X1018cm^-3(50ppma)
注：硅材料中的氧含量以每立方厘米中的原子数计。

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中文名称：硅材料中氧含量的测试惰性气体熔融红外法
英文名称：Test method for the oxygen concentration in silicon materials- Inert gas fusion infrared detection method
标准分类：产品方法标准
国际标准分类：77.040
中国标准分类：H17
标准前缀：GB/T
标准状态：现行
发布单位：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
发布日期：2020-07-21
废止日期：无
实施日期：2021-06-01
页数：8 页