GB/T 39163-2020《靶材与背板结合强度测试方法》
本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法。
本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。
注:靶材与背板结合方式包括钎焊(传统焊料、导电银胶、纳米箔焊接等)、扩散焊、电子束或激光焊、爆炸焊、摩擦焊、机械复合、冷喷涂、热喷涂等。
标准信息:
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- 中文名称:靶材与背板结合强度测试方法
- 英文名称:Test methods of the bonding strength for target-backing plate assemblies
- 标准分类:产品方法标准
- 国际标准分类:19.060
- 中国标准分类:H22
- 标准前缀:GB/T
- 标准状态:现行
- 发布单位:国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
- 发布日期:2020-11-19
- 废止日期:无
- 实施日期:2021-10-01
- 页数:16 页
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