JB/T 10771-2007《真空技术 复合分子泵》
本标准规定了复合分子泵的型式和基本参数,技术要求,测试方法,检验规则,标志、包装、运输和贮存等。
本标准适用于具有前级泵、变频电源的复合分子泵(以下简称泵)。
标准信息:
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本标准规定了复合分子泵的型式和基本参数,技术要求,测试方法,检验规则,标志、包装、运输和贮存等。
本标准适用于具有前级泵、变频电源的复合分子泵(以下简称泵)。
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