JB/T 6922-2015《真空蒸发镀膜设备》
本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型号、形式和基本参数﹑技术要求﹑试验方法﹑检验规则及标志﹑包装﹑运输﹑贮存等要求。
本标准适用于极限压力在5×10 -4 Pa~5×10 -3 Pa范围内的真空蒸发镀膜设备(以下简称设备)。
标准信息:
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本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型号、形式和基本参数﹑技术要求﹑试验方法﹑检验规则及标志﹑包装﹑运输﹑贮存等要求。
本标准适用于极限压力在5×10 -4 Pa~5×10 -3 Pa范围内的真空蒸发镀膜设备(以下简称设备)。
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