JB/T 8946-2010《真空离子镀膜设备》
本标准规定了真空离子镀膜设备(以下简称设备)的型式与基本参数、技术要求、设备检验及其品质评价、质量承诺以及标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于电弧蒸发离子镀膜设备;电子束蒸发离子镀膜设备;磁控溅射离子镀膜设备;上述三类离子镀膜设备的组合。 其它类型的具有离子镀膜特征的设备可参照执行本标准。
标准信息:
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本标准规定了真空离子镀膜设备(以下简称设备)的型式与基本参数、技术要求、设备检验及其品质评价、质量承诺以及标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于电弧蒸发离子镀膜设备;电子束蒸发离子镀膜设备;磁控溅射离子镀膜设备;上述三类离子镀膜设备的组合。 其它类型的具有离子镀膜特征的设备可参照执行本标准。
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