JC/T 1048-2007《单晶硅生长用石英坩埚》
本标准规定了单晶硅生长用石英坩埚的产品分类与标记、规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、储存、运输。
本标准适用于用高纯石英做原料,采用电弧法工艺生产,应用于直拉法生长单晶硅材料的石英坩埚。
标准信息:
第1页
第2页
第3页
第4页
第5页
第6页
第7页
第8页
第9页
本标准规定了单晶硅生长用石英坩埚的产品分类与标记、规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、储存、运输。
本标准适用于用高纯石英做原料,采用电弧法工艺生产,应用于直拉法生长单晶硅材料的石英坩埚。
第1页
第2页
第3页
第4页
第5页
第6页
第7页
第8页
第9页