この規格は,クリーンルーム運転における管理及び清浄化に関連する基本的要求事項について規定する。
标准信息:
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- 中文名称:洁净室使用中的维护和清洁
- 英文名称:Maintenance and cleaning in cleanroom operations
- 国际标准分类:13.040.35
- 中国标准分类:C47
- 标准语言:ja
- 标准状态:现行
- 发布日期:2008-05-20
- 废止日期:无
- 实施日期:2008-05-20
- 页数:53 页