JIS B9920-2002《净化间悬浮微粒子的浓度测定方法及净化间空气洁净度的评定法》
この規格は,クリーンルーム及びこれに関連する制御された環境(以下,クリーンルーム施設という。)における空気清浄度の浮遊微粒子濃度によるクラス分類及びその評価法について規定する。
标准信息:
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- 中文名称:净化间悬浮微粒子的浓度测定方法及净化间空气洁净度的评定法
- 英文名称:MEASURING METHODS FOR AIRBORNE PARTICLES IN CLEAN ROOM AND EVALUATING METHODS FOR AIR CLEANLINESS OF
- 国际标准分类:13.040.35
- 中国标准分类:A21
- 标准语言:ja
- 标准状态:现行
- 发布日期:2002-09-20
- 废止日期:无
- 实施日期:2002-09-20
- 页数:30 页