JIS R1683-2014《原子力显微镜检查法测试陶瓷薄膜的表面粗糙度》

この規格は，基板上に形成したフアインセラミックス薄膜の表面形状のうち，算術平均粗さRaの範囲
が1～3nnm，かっ，粗さ曲線要素の平均長さRsmの範囲が0.04～2．5pmの表面粗さを，原子間力顕微鏡
によって測定する方法にっいて規定する。

标准信息：

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  2. 中文名称：原子力显微镜检查法测试陶瓷薄膜的表面粗糙度
  3. 英文名称：Test method for surface roughness of ceramic thin films by atomic force microscopy
  4. 国际标准分类：81.060.30
  5. 中国标准分类：Q32
  6. 标准语言：ja
  7. 标准状态：现行
  8. 发布日期：2014-10-20
  9. 废止日期：无
  10. 实施日期：2014-10-20
  11. 页数：28 页