JJF 1100-2003《平面等厚干涉仪校准规范》
本规范适用于平面等厚干涉仪的校准,不适用于只能估读干涉条纹弯曲量的同类干涉装置的校准。
标准信息:
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- 中文名称:平面等厚干涉仪校准规范
- 英文名称:Calibration Specification for Flat Equal Thickness Interferometers
- 标准分类:产品基础标准
- 中国标准分类:A52
- 标准前缀:JJF
- 标准状态:废止
- 发布单位:国家质量监督检验检疫总局
- 发布日期:2003-05-12
- 废止日期:2017-05-30
- 实施日期:2003-11-12
- 页数:14 页
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