SJ 20842-2002《砷化镓表面镓砷比的测试方法》

木标准规定了砷化镓材料表面镓砷比的x射线光电子能谱的试验方法。 本标准适用于监测砷化镓器件制造过程中表面处理对砷化镓晶片表面镓砷比的影响，也适用于晶片加工中的各种表面处理。