SJ 20984-2008《化学气相淀积(CVD)设备通用规范》
本规范规定了化学气相淀积设备的要求、质量保证规定、交货准备。
本规范适用于电子行业中光电子、微电子器件的研制和生产的化学气相淀积设备,其它行业的类似设备也可参照执行。
标准信息:
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本规范规定了化学气相淀积设备的要求、质量保证规定、交货准备。
本规范适用于电子行业中光电子、微电子器件的研制和生产的化学气相淀积设备,其它行业的类似设备也可参照执行。
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