SJ 21127-2016《化学机械抛光机通用规范》
本规范规定了化学机械抛光机(以下简称设备)的通用要求、质量保规定、交货准各和说明事项。
本规范适用于微组装薄膜工艺和硅晶圆的抛光工艺中的化学机械抛光机的设计、生产、检验、验收和订购,其他微组装制造工艺设备或其他行业的类似装备也可参照执行。
标准信息:
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本规范规定了化学机械抛光机(以下简称设备)的通用要求、质量保规定、交货准各和说明事项。
本规范适用于微组装薄膜工艺和硅晶圆的抛光工艺中的化学机械抛光机的设计、生产、检验、验收和订购,其他微组装制造工艺设备或其他行业的类似装备也可参照执行。
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