SJ 21129-2016《金属有机物化学气相淀积设备(MOCVD)通用规范》
本规范规定了金属有机物化学气相淀积设备(MOCVD,以下简称设备)的通用要求、质量保证规定、交货准备和说明事项
本规范适用于金属有机物化学相淀积设备(MOCVD)的设计、生产、检验、验收和订购。
标准信息:
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本规范规定了金属有机物化学气相淀积设备(MOCVD,以下简称设备)的通用要求、质量保证规定、交货准备和说明事项
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