SJ 2154-1982《薄膜集成电路用微晶玻璃基片》

1.1 本标准规定了薄膜集成电路用微晶玻璃基片的技术条件和尺寸。基片的电性能、机械性能和理化性能应符合本标准的规定。
1.2 电路设计时，选用的基片尺寸应符合本标准所规定的尺寸系列。