首页 - 规范标准 - 产品方法标准 - 正文 SJ/T 10274-1991《掩模对准曝光机测试方法》本标准规定了测试掩模对准曝光机的一般要求和方法。 本标准适用于接触式和接触一接近式曝光机。标准信息: 免责声明:本网站所提供的电子文本仅供参考,请以正式标准出版物为准。本网站所提供的电子文本均来自于互联网,其版权由其发行商所有,仅供个人学习、研究之用,未经授权,禁止复制、发行、汇编、翻译等。中文名称:掩模对准曝光机测试方法英文名称:Test methods of mask alignment and exposure system标准分类:产品方法标准国际标准分类:31中国标准分类:N38标准前缀:SJ标准状态:现行发布单位:CN-SJ发布日期:1991-11-12废止日期:无实施日期:1992-01-01页数:10 页 在线预览(点击展开)第1页第2页第3页第4页第5页第6页第7页第8页第9页第10页