SJ/T 10312-1992《电子束曝光机通用技术条件》
本标准规定了电子束曝光机的术语、技术要求、试验方法、检验规则等。
本标准适用于集成电路、微波器件、光电器件、声表面波器件等微细图形制作的电子束曝光机。
标准信息:
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本标准规定了电子束曝光机的术语、技术要求、试验方法、检验规则等。
本标准适用于集成电路、微波器件、光电器件、声表面波器件等微细图形制作的电子束曝光机。
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