SJ/T 11079-1996《掩模对准曝光机通用技术条件》
本标准规定了掩模对准曝光机的术语、技术要求、试验方法,检验规则等,还对供货作了规定。
本标准仅适用于接触曝光以及同时具备接触曝光和接近曝光功能的掩模对准曝光机。
标准信息:
第1页
第2页
第3页
第4页
第5页
第6页
第7页
第8页
第9页
第10页
本标准规定了掩模对准曝光机的术语、技术要求、试验方法,检验规则等,还对供货作了规定。
本标准仅适用于接触曝光以及同时具备接触曝光和接近曝光功能的掩模对准曝光机。
第1页
第2页
第3页
第4页
第5页
第6页
第7页
第8页
第9页
第10页