SJ/T 11131-1997《蒸发镀膜设备基本参数系列》

本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。
本标准适用于极限压力为3×10^(-3)P|(a)～5×10^(-6)P|(a)范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。

标准信息：

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  2. 中文名称：蒸发镀膜设备基本参数系列
  3. 英文名称：Basic parameter series of evaporation plating equipment
  4. 标准分类：产品基础标准
  5. 国际标准分类：31.020
  6. 中国标准分类：L95
  7. 标准前缀：SJ
  8. 标准状态：现行
  9. 发布单位：CN-SJ
  10. 发布日期：1997-09-03
  11. 废止日期：无
  12. 实施日期：1998-01-01
  13. 页数：5 页

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