SJ/T 11451-2013《扩散炉能源消耗规范》
本标准规定了扩散炉能源消耗指标、计算原则、计算方法和评价原则。本标准适用于电子行业各企业元器件生产运行中的工作温度在400℃~1350℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉。
标准信息:
第1页
第2页
第3页
第4页
第5页
第6页
第7页
第8页
第9页
第10页
本标准规定了扩散炉能源消耗指标、计算原则、计算方法和评价原则。本标准适用于电子行业各企业元器件生产运行中的工作温度在400℃~1350℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉。
第1页
第2页
第3页
第4页
第5页
第6页
第7页
第8页
第9页
第10页