SJ/T 11576-2016《喷雾式涂覆设备通用规范》
本规范规定了喷雾式涂设备(以下简称“设备”)的术语和定义、产品分类、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存及使用说明书等。
本规范适用于半导体分立器件与集成电路制造过程中,在基片表面通过喷雾式涂覆形成均匀胶膜的设备。
标准信息:
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本规范规定了喷雾式涂设备(以下简称“设备”)的术语和定义、产品分类、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存及使用说明书等。
本规范适用于半导体分立器件与集成电路制造过程中,在基片表面通过喷雾式涂覆形成均匀胶膜的设备。
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