SJ/T 11707-2018《硅通孔几何测量术语》
本标准规定了硅通孔尺寸的几何测量术语和定义。br />本标准适用于硅通孔尺寸的几何测量,其中硅通孔可完全贯穿硅晶圆,也可部分贯穿硅晶圆;硅通孔内可含有金属导体及其他介质,也可不包含金属导体及其他介质。br /> 玻璃通孔尺寸的几何测量也可以参考本标准。
标准信息:
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本标准规定了硅通孔尺寸的几何测量术语和定义。br />本标准适用于硅通孔尺寸的几何测量,其中硅通孔可完全贯穿硅晶圆,也可部分贯穿硅晶圆;硅通孔内可含有金属导体及其他介质,也可不包含金属导体及其他介质。br /> 玻璃通孔尺寸的几何测量也可以参考本标准。
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