SJ/T 11763-2020《半导体制造设备人机界面规范》

br />本标准规定了半导体制造设备人机界面的术语和要求。br />本标准适用于半导体制造设备。其他领域如平板显示器制造设备也可参考本标准，但不在本标准适 用范围之内。br />注1：本标准中的图均为示意图，未给出比例。除非特别规定，示意图未给出按钮、按钮大小及面板大小等详细信息。br />注2：本标准不涉及在标准应用过程中产生的安全问题。在使用本标准之前，标准使用者有责任建立适当的安全和健 康实务，并确定管理的适用性及其他限制条件。