VDI 2083-7-2006《洁净室技术 过程介质的清洁度》

标准信息:

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  2. 中文名称:洁净室技术 过程介质的清洁度
  3. 英文名称:Cleanroom technology - Cleanliness of process media
  4. 国际标准分类:13.040.35
  5. 中国标准分类:P34
  6. 标准前缀:VDI
  7. 标准状态:现行
  8. 发布日期:2006-11-01
  9. 废止日期:
  10. 实施日期:2006-11-01
  11. 页数:31 页