YS/T 792-2012《单晶炉用碳/碳复合材料坩埚》
本标准规定了单晶拉制炉用碳/碳复合材料坩埚的要求、试验方法、检测规则及标志、包装、运输、贮存、质量说明书和合同(或订货单)内容。本标准适用于半导体领域单晶拉制炉用碳/碳复合材料坩埚,也适用于其他高温炉提纯多晶硅和冶炼金属用碳/碳复合材料坩埚。
标准信息:
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本标准规定了单晶拉制炉用碳/碳复合材料坩埚的要求、试验方法、检测规则及标志、包装、运输、贮存、质量说明书和合同(或订货单)内容。本标准适用于半导体领域单晶拉制炉用碳/碳复合材料坩埚,也适用于其他高温炉提纯多晶硅和冶炼金属用碳/碳复合材料坩埚。
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