YS/T 1164-2016《硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法》
本标准规定了多晶硅用高纯石英制品中铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、硼含量的测定方法。
本标准适用于多晶硅用高纯石英制品中铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、硼含量的测定,测定范围见表1。
标准信息:
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- 中文名称:硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法
- 英文名称:Test method for the content of impurities in high purity quartz used for silicon material--Inductively coupled plasma atomic emission spectrometry method
- 标准分类:产品方法标准
- 国际标准分类:81.040
- 中国标准分类:Q35
- 标准前缀:YS/T
- 标准状态:现行
- 发布单位:中华人民共和国工业和信息化部
- 发布日期:2016-07-11
- 废止日期:无
- 实施日期:2017-01-01
- 页数:7 页
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