GB/T 13389-2014《掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程》
本标准规定了掺硼、掺磷、掺砷硅单晶电阻率与掺杂荆浓度之间的换算关系,该换算关系也适用于掺锑硅单晶,还可扩展至硅中激活能与硼、磷相似的其他掺杂剂。
本标准适用于掺硼浓度10^14cm-3~1×1020cm-3,掺磷浓度3×10^13cm-3~1×10^20cm-3,掺砷浓度10^19cm-3~6×10^20cm-3。对掺硼、掺磷的硅单晶渗杂剂浓度可扩展到10^12cm-3。本标准也可用于在23℃下从硅单晶电阻率到载流子浓度的换算,但不包括对砷掺杂剂的载流子浓度换算,或任何其他载流子浓度的换算。
标准信息:
- 免责声明:本网站所提供的电子文本仅供参考,请以正式标准出版物为准。本网站所提供的电子文本均来自于互联网,其版权由其发行商所有,仅供个人学习、研究之用,未经授权,禁止复制、发行、汇编、翻译等。
- 中文名称:掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程
- 英文名称:Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped,phosphorus-doped,and
- 标准分类:通用基础标准
- 国际标准分类:29.045
- 中国标准分类:H80
- 标准前缀:GB/T
- 标准状态:现行
- 发布单位:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
- 发布日期:2014-12-31
- 废止日期:无
- 实施日期:2015-09-01
- 页数:29 页
第1页
第2页
第3页
第4页
第5页
第6页
第7页
第8页
第9页
第10页